方管合頁拋光機(jī)操作的關(guān)鍵是要設(shè)法得到大的拋光速率,以便盡快除去方管合頁拋光機(jī)磨光時(shí)產(chǎn)生的損傷層。同時(shí)也要使方管合頁拋光機(jī)拋光損傷層不會影響觀察到的組織。前者要求使用較粗的磨料,以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層,但拋光損傷層也較深;后者要求使用細(xì)的材料,使拋光損傷層較淺,但拋光速率低。解決這個(gè)矛盾的好的辦法就是把拋光分為兩個(gè)階段進(jìn)行。粗拋目的是去除磨光損傷層,這一階段應(yīng)具有大的拋光速率,粗拋形成的表層損傷是次要的考慮,不過也應(yīng)當(dāng)盡可能??;其次是精拋(或稱終拋),其目的是去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷,使拋光損傷減到小。