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| 本實用新型涉及一種帶真空度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的探針臺,包括探針臺和真空度調(diào)節(jié)系統(tǒng),探針臺包括殼體和殼體蓋,殼體蓋與殼體密封配合形成測試腔,測試腔中設(shè)有測試臺和測試探針,殼體壁上設(shè)有氣體進口和抽真空氣口。真空度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括與氣體氣氛管路和抽真空管路,氣體氣氛管路上設(shè)有氣體流量計,抽真空管路上設(shè)有真空泵和帶步進電機的真空蝶閥。真空蝶閥位于真空泵的上游。步進電機連接有控制器,殼體上設(shè)有真空計,真空計與控制器連接。控制器采集真空計的數(shù)值來調(diào)節(jié)真空蝶閥的開度,以維持探針臺測試腔中設(shè)定的真空值,氣體氣氛管路上通過氣體流量計控制輸入的氣氛氣體流量,能夠向測試腔施加不同真空度及不同氣體氣氛環(huán)境,增加探針臺的使用范圍。 |