探針臺主要應(yīng)用于傳感器，半導(dǎo)體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。

   該探針臺的承載臺為26X26mm不銹鋼臺面，臺面可升溫到350℃。真空腔體設(shè)計有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm,y方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準(zhǔn)檢測點后，即可進(jìn)行檢測

主要技術(shù)要求

1．    類型：高溫型：室溫～350℃ 低溫型 -190℃:350℃   低溫型：室溫到-190℃

2．    腔體材質(zhì)：304不銹鋼

3．    腔體內(nèi)尺寸：φ90x40mm

4．    腔體上視窗尺寸：Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）

5．    腔體抽氣口：KF16

6．    腔體進(jìn)氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

7．    腔體出氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

8．    腔體正壓：≤0.05MPa

9．    腔體真空度：機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

10．  樣品臺材質(zhì)：304不銹鋼

11．  樣品臺尺寸：26X26mm

12．  樣品臺-視窗 距離：30mm（可選凹視窗間距15mm）

13．  樣品臺測溫傳感器：A級PT100鉑電阻

14．  樣品臺溫度：室溫到350℃（可選高低溫樣品臺 高溫350℃低溫-190℃）

15．  樣品臺測溫誤差：±0.2℃

16．  樣品臺變溫速率：高溫10℃/min    低溫5℃/min  大值

17．  溫度顯示：7寸人機(jī)界面

18．  溫控類型：標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）

19．  溫度分辨率：0.1℃

20．  溫控精度：±0.5℃

21．  溫度信號輸入類型：PT100熱電阻 （可選 K  S  B型熱電偶）

22．  溫控輸出：直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）

23．  輔助功能：溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出  實時溫度曲線+歷史溫度曲線

24．  電信號接頭：配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭  香蕉插頭  線長1.2米

25．  電學(xué)性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤200V  電流噪聲 ≤10pA

26．  探針數(shù)量：4探針（可定做6探針）

27．  探針材質(zhì)：鍍金鎢針

28．  探針尖：10μm

29．  X軸移動行程：12mm    ±6mm

30．  X軸控制精度：≤5μm

31．  Y軸移動行程：12mm    ±6mm

32．  Y軸控制精度：≤5μm

33．  Z軸移動行程：12mm    ±6mm

34．  Z軸控制精度：≤5μm

35．  顯微鏡類別：物鏡放大+電子放大

36．  顯微鏡放大倍數(shù)：100倍

37．  顯微鏡工作間距：50-150mm

38．  相機(jī)分辨率：1080P  60幀

39．  相機(jī)信號輸出：HDMI輸出+USB輸出

40．  LED可調(diào)光源：LED光源

41．  顯示屏：5寸 屏幕一體機(jī)

四：主要配置要求

1．1臺 · KT-0904T-RL微型探針臺一臺

2．1臺 · 觸摸屏溫控箱

3.  1個· 6mm聚四氟管

4.  1根  電源線

5:  2個  6mm金屬內(nèi)襯

6： 1根  觸摸屏筆

7： 4個  SMA-香蕉插頭

8： 1根  功率輸出線

9:   6米  6mm水冷管

10： 1套  K型上蓋扳手、備用螺絲，內(nèi)六角

選配: 分子泵真空機(jī)組  機(jī)械泵