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某半導體工廠在生產(chǎn)線上氣體輸送環(huán)節(jié)的氣體管路系統(tǒng)采用伯東 HVA 不銹鋼 11000 ，作為真空隔離密封.
HVA 不銹鋼 11000 系列標準技術規(guī)格:
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閥門材質: |
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- 閥門主體 |
304 不銹鋼 |
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- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
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閥門密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
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- 超高真空 |
銅墊圈 / 氟橡膠 |
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真空: |
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- 壓力范圍 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差壓關閉 |
1 bar ( 任意位置 ) |
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- 開啟前最，大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）: |
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- 彈性體密封閥蓋 |
150°C |
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- 金屬密封閥蓋 |
-開啟溫度：200°C -關閉值：150°C |
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- 驅動方式 |
手動 60 °c, 氣動 60 °c |
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機制 |
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手動： |
手搖曲柄 |
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電磁閥供電電壓 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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電磁閥可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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電磁閥位置指示器,最。大 |
115 VAC |
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氣動送風： |
80 psig |
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使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定) |
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公稱通徑: DN 16 - 800 mm |
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HVA 是真空技術創(chuàng)新者的(), 是高真空閥門的主要制造商和供應商.
在設計真空系統(tǒng)時, 可以輕松集成 HVA . HVA 從5/8英寸（16毫米）到32英寸（800毫米）, 而矩形/狹縫閥的最；大距離為80英寸（2m）, 可以滿足您的()要求. 無論您是升級現(xiàn)有的真空系統(tǒng)還是 OEM 設計新的系統(tǒng), HVA 都可以提供經(jīng)濟高，效的替代閥門解決方案.
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