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切斷電源，將真空泵從真空系統(tǒng)上卸下;
用重力法或加壓法將臟油放出并收集起來(lái)，以免污染環(huán)境；
卸下皮帶、皮帶輪積鍵(雙級(jí)旋片真空泵包含皮帶);
先拆低真空端，取下后端蓋，再取出低真空轉(zhuǎn)子、旋片及彈簧等；
取下視鏡、排氣閥、排氣蓋等；
將所拆下的金屬零件用汽油徹底清洗干凈，并用酒精脫水。橡膠零件可用15％的氫氟化鈉水溶掖煮沸去油。對(duì)有毛刺或生銹的零部件．可用油石或金相砂紙輕輕地研磨，以去除銹斑和毛刺。清洗后的零部件必須烘干；
裝配時(shí)，先裝后級(jí)，將彈簧、旋片托起裝入轉(zhuǎn)子內(nèi)，然后放入真空泵腔．裝上前端蓋．再裝定位銷(xiāo)．均勻?qū)ΨQ(chēng)地?cái)Q緊螺釘。裝配后．應(yīng)保證轉(zhuǎn)動(dòng)靈活、均勻。裝好前級(jí) 轉(zhuǎn)子及后端蓋后，再裝排氣閥（排氣閥片應(yīng)貼緊閥座）及其它件，如氣鎮(zhèn)裝置等。
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