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一種鋁或鋁合金與銅的真空擴(kuò)散焊接方法，涉及鋁銅的擴(kuò)散焊方法。要解決采用真空擴(kuò)散焊時(shí)，由于鋁的化學(xué)性質(zhì)活潑極易在其表面形成致密的高熔點(diǎn)氧化膜，在鋁表面存在一層氧化膜，阻礙母材的潤濕和界面的結(jié)合，進(jìn)而降低了接頭的綜合性能的問題。
方法：首先清洗，然后將清洗后的鋁或鋁合金置于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積真空裝置中，進(jìn)行沉積，得到表面氫化處理的鋁或鋁合金，再將表面氫化處理的鋁或鋁合金與清洗后的銅按待焊部位相對(duì)形式貼合，并置于真空釬焊爐中，進(jìn)行真空擴(kuò)散。其特征在于它是按照以下步驟進(jìn)行的：
一、將鋁或鋁合金的待焊部位機(jī)械清理，然后置于丙酮溶液中超聲清洗10min～30min，得到清洗后的鋁或鋁合金;將銅的待焊部位機(jī)械清理，然后置于丙酮溶液中超聲清洗10min～30min，得到清洗后的銅;
二、將清洗后的鋁或鋁合金置于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積真空裝置中，抽真空至壓強(qiáng)為10?3Pa以下，以氣體流量為20sccm～60sccm通入氫氣，調(diào)節(jié)抽真空速度將等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積真空裝置中壓強(qiáng)控制為100Pa～300Pa，并在壓強(qiáng)為100Pa～300Pa和氫氣氣氛下將溫度升溫至為100℃～400℃;
三、升溫后，調(diào)節(jié)抽真空速度將等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積真空裝置中壓強(qiáng)控制為200Pa～400Pa，然后在沉積系統(tǒng)射頻功率為100W～200W、壓強(qiáng)為200Pa～400Pa和溫度為100℃～400℃條件下進(jìn)行沉積，沉積時(shí)間為2min～30min，沉積結(jié)束后，關(guān)閉射頻電源和加熱電源，即得到表面氫化處理的鋁或鋁合金;
四、將表面氫化處理的鋁或鋁合金與清洗后的銅按待焊部位相對(duì)形式貼合，得到貼合后的材料，將貼合后的材料置于真空釬焊爐中，關(guān)閉真空室，打開抽真空系統(tǒng)，抽真空至壓強(qiáng)為10?3Pa～10?4Pa，開啟加熱系統(tǒng)，將真空釬焊爐溫度升溫至400℃～600℃，然后對(duì)貼合后的材料施加1MPa～10MPa的壓力，然后在溫度為400℃～600℃下及壓力為1MPa～10MPa的條件下，保溫10min～60min，保溫后卸載壓力，關(guān)閉加熱系統(tǒng)，在壓強(qiáng)為10?3Pa～10?4Pa的條件下，進(jìn)行隨爐冷卻至室溫，即完成鋁或鋁合金與銅的真空擴(kuò)散焊接方法
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