【半導(dǎo)體制造行業(yè)廢氣處理工藝】：

半導(dǎo)體制造行業(yè)廢氣預(yù)處理設(shè)備（根據(jù)具體項目及廢氣源實際工況，可能涉及到粉塵去除、水氣分離、高溫降溫處理、油膏油脂去除、酸堿水霧去除等相應(yīng)的預(yù)處理措施）等離子UV光解除臭廢氣凈化器高排。

等離子光解廢氣分解除臭凈化器

【工作原理】

本設(shè)備是等離子分解廢氣凈化器+UV光解除臭廢氣凈化器兩種設(shè)備的wm結(jié)合，綜合采用了等離子廢氣凈化器和紫外光觸媒除臭廢氣凈化器兩種設(shè)備的優(yōu)點組合而成，利用等離子分解技術(shù)和UV紫外光解技術(shù)相結(jié)合，對廢氣和臭氣進行{gx}協(xié)同凈化處理！

（1）廢氣和惡臭氣體進入集成設(shè)備后，經(jīng)過UV紫外光束區(qū)時，被紫外光波高能{gx}率地照射，瞬間產(chǎn)生光解反應(yīng)，打開廢氣和臭味污染物分子的化學(xué)鍵，破壞其分子結(jié)構(gòu)和核酸；利用高能紫外光波分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結(jié)合，進而產(chǎn)生臭氧，使呈游離狀態(tài)的污染物分子與臭氧氧化結(jié)合成小分子無害或低害的化合物。如CO2、H2O 等。 UV+O2→O-+O*(活性氧)O+O2→O3(臭氧)。??

（2）廢氣和惡臭氣體經(jīng)過等離子體電場區(qū)，在納秒級時間范圍內(nèi)，等離子猛烈轟擊廢氣和臭味等污染物分子，產(chǎn)生lb分解反應(yīng)，產(chǎn)生高濃度、高強度、高能量的各種活性自由基、高能電子、高能離子等，同時產(chǎn)生大量臭氧、原子氧、生態(tài)氧等混合氣體，進行一系列復(fù)雜的分化裂解和氧化還原反應(yīng)。

（3）UV紫外光解與等離子分解如此{gx}協(xié)同地產(chǎn)生一系列光解和分解反應(yīng)，經(jīng)過復(fù)合式多級凈化后從而達標(biāo)排放！既能安全{gx}地凈化治理各種有害廢氣，又能{gx}干凈地去除各種惡臭味道。