凈化工程是一個應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產(chǎn)業(yè),在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應用,并根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求,等級差別也較大,凈化工程是一個非常細致的過程,要關注到方方面面,下面就由大銳凈化來簡單講一講潔凈室中的溫濕度控制吧。

潔凈室中的溫濕度控制
潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時,冷卻水管壁上會結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外,濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以qc。相對濕度越高,粘附的越難去掉,但當相對濕度低于30%時,又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)樶佳濕度范圍為35—45%。
層流手術(shù)室不僅要求高度潔凈的空氣(進入手術(shù)室的空氣首先須經(jīng)高1效過濾器凈化),而且要求能控制氣流的流通方向(即采用層流超凈裝置),使氣流從潔凈度高的手術(shù)區(qū)域流向潔凈度低的區(qū)域,并帶走和排出氣流中的塵埃顆粒(塵粒)和細菌;層流是一股細小、薄層的氣流,以均勻的流速向同一方向輸送;凈化氣流的方向分為垂直層流式和水平層流式兩種,下面我們與大銳凈化一起來了解一下吧。
1空調(diào)凈化需關注節(jié)能
空調(diào)凈化是能耗大戶,設計與施工中需關注節(jié)能措施。在設計中,系統(tǒng)及區(qū)域的劃分,送風量計算,溫度與相對溫度的確定,潔凈級別與換氣次數(shù)的確定,新風比,風管保溫,風管制作中的咬口形式對漏風率的影響,干管支管連接角度對氣流阻力的影響,法蘭連接是否漏風等以及空調(diào)箱、風機、冷水機組等設備選擇無一不與能耗有關,所以,這些細節(jié)必須要慮到。
2風管要求經(jīng)濟與效率并重
在集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中,對風管的要求是既經(jīng)濟又能有效地送風。前者要求體現(xiàn)在價格低廉,方便施工,運行成本,內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴密性好,不漏氣,不發(fā)塵,不積塵,不污染,可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。
在運行中,有時候管件的局部阻力大大高于風管的沿程阻力,這種狀況需要改善。管件主要有彎頭、變徑管三通及四通管。彎管的中心曲率半徑應大于矩形風管的邊長,圓形則采用1.25倍直徑。大斷面風管應在管內(nèi)加導流片,以減少阻力。而在實際安裝施工中,較少如此處理。對于變徑管,不可突然變徑,宜作成漸擴(縮)管,漸擴管每邊擴展角應大于15°,漸縮管則每邊收縮角不大于30°。矩形風管的三通要順氣流彎管彎曲分流,支管也應有一定的曲率半徑。若要90°角分流,則應在彎頭內(nèi)加導流片。
層流手術(shù)室是采用空氣潔凈技術(shù)對微生物污染采取程度不同的控制,達到控制空間環(huán)境中空氣潔凈度適于各類手術(shù)之要求,由于手術(shù)室要嚴格控制低細菌數(shù)及低嘛醉氣體濃度,所以層流超凈裝置的穩(wěn)定性是層流凈化手術(shù)室的重要驗收指標,下面就由大銳凈化來簡單講一講吧。

強調(diào)
(1)進入手術(shù)室必須更換洗手衣褲、鞋帽。
(2)嚴格控制入室人數(shù)。
(3)盡量減少層流手術(shù)室的開門次數(shù)與時間(更不可將門打開不關),維持'相對密閉狀態(tài)',以防外來污染的進入。
(4)手術(shù)前用酒精擦拭室內(nèi)物品、醫(yī)了程儀器、設備等。