故在這品種型里通常見到的是兩臺串聯(lián)后再用雙級水環(huán)泵作前級泵組成機(jī)組。
(2)水環(huán)泵-大風(fēng)泵機(jī)組:即便采納雙級水環(huán)泵,極限真空度的普及也只是在定然的規(guī)模之內(nèi),這是所以受到水的飽和蒸汽壓的制約。水環(huán)泵的實踐極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。那末思忖氣體返流等成分的莫須有,理論上溯環(huán)泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了普及前級泵的極限真空度,還能夠使水環(huán)泵與大風(fēng)泵組合運用。
那樣,串聯(lián)一級大風(fēng)泵后的極限真空度可達(dá)20~30Torr,那末水環(huán)泵與二級大風(fēng)泵組合,則極限真空可達(dá)2~10Torr。
(3)水環(huán)泵串聯(lián)機(jī)械真空泵:此機(jī)組重要用來須要解決一大批水蒸汽,且極限真空度務(wù)求較高的抽真空零碎,比如在真空干澀上面。
氣體采樣泵有:PM系列(具體型號如:PM950.2、PM850.5、PM8001、PM7002、PM6503);微型真空泵有: VM系列、VAA系列、PK系列、PC系列、VCA系列、VCC系列、VCH系列、PH系列、FM系列、FAA系列、PCF系列,這些系列下的所有規(guī)格都是真正的微型真空泵,如VM7002、VAA6005、PC3025等。
對于微型泵抽氣端阻力的大小可以用儀器測定,把它與泵的技術(shù)參數(shù)'進(jìn)氣口允許阻力'Por值比較就可以知道選型是否合適。通常根據(jù)經(jīng)驗采用簡便的方法確定,比如下述幾種情況都屬于負(fù)載較大(即泵的抽氣端阻力較大),只能在微型真空泵范圍內(nèi)選型:①在泵的抽氣端要接很長的管道,或管道彎曲點多、彎曲厲害甚至?xí)枞忾],或管道內(nèi)孔很小(比如小于φ2毫米);②在管路上有節(jié)流閥、電磁閥、氣路開關(guān)、過濾器等元件;③泵抽氣口與密閉容器連接,或該容器雖未密閉但進(jìn)氣量較小;④泵抽氣口與吸盤連接,用于吸附物體(如集成塊、精密工件等);⑤泵的抽氣端與過濾容器相連,容器口放置濾網(wǎng),用于加速液體過濾。

真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品,產(chǎn)量很大,產(chǎn)值不高,但它確實是一個直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。
目前,全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右。
我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右,僅相當(dāng)于美國一家公司真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ),國外真空泵已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗證,