振鏡掃描系統(tǒng)是由光學(xué)掃描器和伺服控制二部分組成。整個系統(tǒng)采用新技術(shù)、新材料、新工藝、新工作原理設(shè)計和制造。光學(xué)掃描器采用動磁式偏轉(zhuǎn)工作方式的伺服電機。具有掃描角度大、峰值力矩大、負載慣量大、機電時間常數(shù)小、工作速度快、穩(wěn)定可靠等優(yōu)點。精密軸承消隙機構(gòu)提供了超底軸向和徑向跳動誤差；“電子扭力棒”取代傳統(tǒng)彈性材料扭力棒，大大提高了使用壽命和長期工作的可靠性；任意位置零功率保持工作原理既降低了使用功耗，又減少了器件的發(fā)熱效應(yīng)，省卻了恒溫裝置；先進的高穩(wěn)定性精密位置檢測傳感技術(shù)提供高線性度、高分辨率、高重復(fù)性、低漂移的性能。光學(xué)掃描器分為X方向掃描系統(tǒng)和Y方向掃描系統(tǒng)，每個伺服電機軸上固定著激光反射鏡片。每個伺服電機分別由計算機發(fā)出數(shù)字信號控制其掃描軌跡。
激光打標(biāo)機按照激光器不同可分為：CO2激光打標(biāo)機，半導(dǎo)體激光打標(biāo)機，YAG激光打標(biāo)機，光纖激光打標(biāo)機。按照激光可見度不同分為：紫外激光打標(biāo)機、綠激光打標(biāo)機、紅外激光打標(biāo)機）、按照激光波長的不同可分為：深紫外激光打標(biāo)機（ 200 nm以下 ）、紫外激光打標(biāo)機（355nm）、綠激光打標(biāo)機（ 532nm ）、燈泵YAG激光打標(biāo)機（1064nm）、半導(dǎo)體側(cè)泵YAG激光打標(biāo)機、半導(dǎo)體端泵YAG激光打標(biāo)機（1064nm ）、光纖激光打標(biāo)機（1064nm）、CO2激光打標(biāo)機（10.64um）。
熱加工”具有較高能量密度的激光束（它是集中的能量流），照射在被加工材料表面上，材料表面吸收激光能量，在照射區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生熱激發(fā)過程，從而使材料表面（或涂層）溫度上升，產(chǎn)生變態(tài)、熔融、燒蝕、蒸發(fā)等現(xiàn)象?！袄浼庸ぁ本哂泻芨哓摵赡芰康模ㄗ贤猓┕庾?，能夠打斷材料（特別是有機材料）或周圍介質(zhì)內(nèi)的化學(xué)鍵，至使材料發(fā)生非熱過程破壞。這種冷加工在激光標(biāo)記加工中具有特殊的意義，因為它不是熱燒蝕，而是不產(chǎn)生 熱損傷 的、打斷化學(xué)鍵的冷剝離，因而對被加工表面的里層和附近區(qū)域不產(chǎn)生加熱或熱變形等作用。例如，電子工業(yè)中使用準(zhǔn)分子激光器在基底材料上沉積化學(xué)物質(zhì)薄膜，在半導(dǎo)體基片上開出狹窄的槽。