但是要獲得超精密的加工精度，仍有賴于精密的加工設備和的控制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑（見光刻）進行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。異同編輯傳統(tǒng)的機械加工方法(普通加工)與精密和超精密加工方法一樣。隨著新技術(shù)、新工藝、新設備以及新的測試技術(shù)和儀器的采用，其加工精度都在不斷地提高。

2、有效控制模具溫度的預備條件溫度控制系統(tǒng)由模具、模溫機、導熱流體三部分組成。為了確保熱量能加給模具或移走，系統(tǒng)各部分必須滿足以下條件：首先是在模具內(nèi)部，冷卻通道的表面積必須足夠大，流道直徑要匹配泵的能力(泵的壓力)。型腔中的溫度分布對零件變形和內(nèi)在壓力有很大的影響。合理設置冷卻通道可以降低內(nèi)在壓力，從而提高了注塑件的質(zhì)量。它還可以縮短循環(huán)時間，降低產(chǎn)品成本。其次是模溫機必須能夠使導熱流體的溫度恒定在1℃-3℃的范圍內(nèi)，具體根據(jù)注塑件質(zhì)量要求來定。第三是導熱流體必須具有良好的熱傳導能力，最重要的是，它要能在短時間內(nèi)導入或?qū)С龃罅康臒崃?。從熱力學的角度來看，水明顯比油好。