如何正確運(yùn)用激光干涉儀

1、負(fù)坡度

  負(fù)坡度曲線向外運(yùn)行和向內(nèi)運(yùn)行兩個(gè)測(cè)試均出現(xiàn)向下的坡度。在整個(gè)軸線長(zhǎng)度上，誤差呈線性負(fù)增加，這表示激光系統(tǒng)測(cè)量的距離短于機(jī)床位置反饋系統(tǒng)指示的距離。出現(xiàn)負(fù)坡度的可能原因有以下兩種：(1)光束準(zhǔn)直調(diào)整不正確。如果軸線短于1m則可能是材料熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)不正確、材料溫度測(cè)量不正確或者波長(zhǎng)補(bǔ)償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機(jī)床線性誤差。

2、正坡度

  正坡度曲線是指在整個(gè)軸線長(zhǎng)度上，誤差呈線性正遞增。這種現(xiàn)象的產(chǎn)生有以下可能：(1)材料熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)不正確、材料溫度測(cè)量不正確或者波長(zhǎng)補(bǔ)償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機(jī)床的線性誤差。

3、周期性曲線

  周期性曲線是整個(gè)軸線長(zhǎng)度上的重復(fù)周期誤差。沿軸的俯仰保持不變，但幅度可能變化。導(dǎo)致周期性曲線的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如絲杠或傳動(dòng)系統(tǒng)故障、編碼器問題或故障、長(zhǎng)型門式機(jī)床軌道的軸線直線度。

4、偏移

  偏移是指去程和回程兩次測(cè)試之間具有不變的垂直偏移。產(chǎn)生偏移曲線的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如反向間隙未補(bǔ)償或不當(dāng)補(bǔ)償、車架與導(dǎo)軌之間存在間隙(松動(dòng))等。

5、燕尾狀

  在去程測(cè)試中出現(xiàn)向下的坡度的情況，回程測(cè)試為去程測(cè)試的鏡像，去程和回程測(cè)試之間的偏差(或滯后或反向間隙)隨軸線離開受驅(qū)動(dòng)端而逐漸提高。產(chǎn)生燕尾狀的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如滾珠絲杠扭轉(zhuǎn)、導(dǎo)軌太緊、使用的誤差補(bǔ)償值不正確等。

6、正反向交叉線

  正反向交叉線是指正向(向外)運(yùn)行產(chǎn)生負(fù)坡度，而反向(向內(nèi))運(yùn)行則產(chǎn)生正坡度。這是絲杠扭轉(zhuǎn)的一個(gè)特殊例子，其中，單向線性誤差補(bǔ)償和單反向值已在控制器中設(shè)置。

激光干涉儀的測(cè)量精度與哪些因素有關(guān)？

激光干涉儀在實(shí)際使用中，需要確認(rèn)其在各個(gè)測(cè)量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實(shí)精度水平以確保測(cè)量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測(cè)量讀數(shù)最終均與激光波長(zhǎng)有關(guān)，因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測(cè)量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)（壓力、溫濕度傳感器）的讀數(shù)準(zhǔn)確性對(duì)最終的測(cè)量精度有著重要的影響。

總結(jié)起來，影響激光干涉儀測(cè)量精度的因素包括：

1.激光器頻率（波長(zhǎng)）及頻率穩(wěn)定性；

2.測(cè)量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差；

3.反射鏡、角錐棱角誤差；

4.溫濕度、壓力傳感器誤差；

當(dāng)然，在具體測(cè)量任務(wù)中的測(cè)量精度還與測(cè)量人員、現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀常見故障及解決方法

開機(jī)無顯示：1、是否接上電源打開開關(guān)。2、顯示器是否切換到BNC模式。

視場(chǎng)不完整：1、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭是否旋到位。2、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭星點(diǎn)是否與尋星窗口中間的黑點(diǎn)重合。

高度調(diào)節(jié)不明顯：檢查高度調(diào)節(jié)旋鈕是否鎖緊。

干涉條紋暗：調(diào)節(jié)干涉儀上的亮度調(diào)節(jié)旋鈕。

干涉條紋亂：檢查標(biāo)準(zhǔn)鏡頭與被測(cè)透鏡表面是否干凈。

被測(cè)鏡片星點(diǎn)像找不到：調(diào)整鏡片的中心，看鏡片是否放置的傾斜。

條紋亮暗閃動(dòng)：調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的圓形圖像。