★ 玻璃鐘罩真空腔室,最直觀的蒸發(fā)狀態(tài)和薄膜沉積現(xiàn)象觀察;
★ 復(fù)合分子泵和直聯(lián)旋片泵,大抽速準(zhǔn)無油真空系統(tǒng)(分子泵抽速≥400L/S);
★ 兩組水冷式蒸發(fā)電極,可長時(shí)間穩(wěn)定工作,兼容金屬材料與有機(jī)材料的蒸發(fā)源設(shè)計(jì);
★ 專業(yè)真空蒸發(fā)電源,數(shù)顯工作電流和電壓,恒流輸出;
★ 可定制一體化高精度刻蝕掩膜板;
★ 襯底可選擇加熱或水冷,源基距≥300mm;
★ 可調(diào)速旋轉(zhuǎn)靶臺(tái)使薄膜更均勻
★ 可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ca,
Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金屬、化合物(MoO3, LiF等)及有機(jī)物材料,可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜;
★ 7寸顯示器定時(shí)定點(diǎn)調(diào)節(jié)電流,達(dá)到控制功率效果
★ 具有記憶儲(chǔ)存功能,直接調(diào)出已儲(chǔ)存的數(shù)據(jù)進(jìn)行鍍膜達(dá)到同樣工藝效果
★ 配置了靶臺(tái)擋板,可手動(dòng)調(diào)節(jié)或自動(dòng)調(diào)節(jié)擋板,及時(shí)遮擋樣品,保證樣品效果