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多功能磁控濺射電阻鍍膜機
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多功能磁控濺射電阻鍍膜機

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錦州航星真空鍍膜設備有限公司
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錦州市古塔區(qū)士英街74號
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錦州航星真空鍍膜設備有限公司

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主要用途
是生產(chǎn)各種金屬膜電阻及氧化膜電阻的專用設備,可以完成高、中、低不同阻值的鍍膜工藝。
主要組成
設備由真空室、真空機組、直流濺射源、射頻濺射源、分流式滾筒、充氣裝置、真空測量及其它輔助裝置等組成。
主要特點
★生產(chǎn)能力大,每爐可鍍制裝載量達1011Kg左右的瓷體。
★磁控濺射源工作特性穩(wěn)定可靠,沉積速率高。
★根據(jù)不同電阻值和工藝要求配置不同濺射源,工藝適應性強。如配置射頻濺射源可鍍制介質膜,配備離化源可鍍制氧化膜。
★采用特殊分流式滾筒,瓷體鍍制膜層均勻,阻值集中。
★如配用PLC可編程控制,設備自動化水平提高,性能更加可靠,操作更為簡便。
★調節(jié)沉積室的氣氛可控沉積膜的阻值和TCR(溫度系數(shù));鍍制后電阻在合適的“后調整”熱處理后TCR可接近于零。
獲獎情況
JPG-6型曾獲遼寧省機械委員會科技進步一等獎,遼寧省{yx}新產(chǎn)品“金鷹獎”三等獎。
JPG-5型曾獲省機械委科技進步二等獎。
 


JGG5磁控濺射高阻鍍膜機
JPG6B磁控濺射中、低阻鍍膜機


JPG-6B型磁控濺射電阻鍍膜設備
(全自動)


JPZ6磁控濺射電阻鍍膜機(全自動)




JPG-6B磁控濺射電阻鍍膜機
(附加射頻電源)

JPG-6B型磁控濺射電阻鍍膜設備


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