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1.儀器尺寸:450mm W x 350mm D x 175mm H 2.工作腔室:硼硅酸鹽玻璃 165mm Dia x 125mm H 3.安全鐘罩:聚碳酸酯 4.重量:18公斤 5.靶:60 mm 直徑 x 0.1mm 厚(金作為標(biāo)準(zhǔn)靶面) 6.樣品臺(tái)直徑為60 mm,靶面距離40mm,具有傾斜裝置的旋轉(zhuǎn)臺(tái) 7.真空范圍:ATM-1x10-4 mbar 8.沉積電流范圍:0-50mA 9.沉積速率:0-25nm/分 10.濺射時(shí)間:0-4 分鐘 11.預(yù)設(shè)置針閥:控制氬 12.電源:230 伏 50Hz (10 amp max. including Pump)客戶遍及:上海、蘇州、南京、大連、佛山、煙臺(tái)、中山、無錫、廣州、重慶、青島、常州、寧波、深