敞開式光柵尺與讀數(shù)頭和光柵尺或鋼帶間沒(méi)有機(jī)械接觸。是專門為機(jī)械和那些特別需要高精度測(cè)量值的裝置設(shè)計(jì)的;
典型應(yīng)用包括:
半導(dǎo)體行業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
印刷電路版裝配機(jī)械
超精密機(jī)械
高精度機(jī)床
計(jì)量機(jī)和比較儀、測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量裝置
直接驅(qū)動(dòng)
準(zhǔn)確度等級(jí) ?0.5 μm 和更高 ;測(cè)量步距 0.001 μm (1nm) ;測(cè)量長(zhǎng)度 30 m
海德漢敞開式光柵尺常用型號(hào):
LIP372 LIP382 LIP471 LIP481 LIP571 LIP581 LIF471 LIF481 LIDA171
LIDA181 LIDA 475 LIDA485 LIDA477 LIDA487 PP271 PP281
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