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硅V型槽的簡介
經(jīng)過晶面tr解理構(gòu)成的V型槽側(cè)壁潤滑、線條筆直，水平距離精度高（小于0.5微米），無精細機械加工的累計誤差，十分適合于放置光纖并精細定位，能和光電子器材的距離嚴厲匹配，筆直方向在同一條高度上，大大減少了光電子器材和光纖耦合對準的損耗。因為選用與微電子相似的微機械生產(chǎn)技能（MEMS技能），并行生產(chǎn)工藝保證了高品質(zhì)、大批量、低成本。