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氦質(zhì)譜檢漏儀六種常見(jiàn)檢漏方法

作者:伯東企業(yè)(上海)有限公司 來(lái)源:hakuto 發(fā)布時(shí)間:2023-09-21 瀏覽:28
氦質(zhì)譜檢漏儀六種常見(jiàn)檢漏方法


檢漏與現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn), 維修, 科研等領(lǐng)域密不可分, 傳統(tǒng)的檢漏有泡泡檢漏 Bubble Test, 壓差檢漏等, 但這些方法有許多局限性和不足, 如精度差, 效率低等,  Helium Leak Test 作為國(guó)際公認(rèn)精度最 高的泄露測(cè)試方法, 利用氦氣作為示蹤氣體可精 確定位, 定量漏點(diǎn), 在提供無(wú)損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 廣泛應(yīng)用于真空相關(guān)領(lǐng)域.

根據(jù)示蹤氣體流向, 可分為真空法 (氣體流出工件), 吸槍法 (氣體流入工件) 兩大類, 上海伯東依據(jù)大量客戶實(shí)際應(yīng)用總結(jié)出常見(jiàn)六種氦檢方法:

1. 真空測(cè)漏法 / 噴槍(Vacuum Test: Spraying Test)
   1)可定位漏點(diǎn)
   2)精度很高
   3)氦氣消耗少 
氦質(zhì)譜檢漏儀六種常見(jiàn)氦檢方法


真空測(cè)漏法是業(yè)內(nèi)最長(zhǎng)使用的一種檢漏方法, 廣泛應(yīng)用于精密儀器, 真空釬焊, 壓力容器等行業(yè)

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
應(yīng)用于 5G 基站銅連接器檢漏, 真空模式下, 漏率要求 5x10-11pa m3/s


氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
應(yīng)用于航天領(lǐng)域的激光器零件檢漏, 中空夾層設(shè)計(jì),, 真空模式下, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.

氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310
半導(dǎo)體用光刻機(jī)檢漏, 整機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空. 


氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310
內(nèi)部集成紅外探測(cè)器的 2m3 杜瓦封裝器件, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s. 

 

2. 吸槍法(Sniffing Test)
    1)可定位漏點(diǎn)
    2)無(wú)需抽真空
    電廠檢漏一般使用吸槍法

氦質(zhì)譜檢漏儀

 

燃料電池車(chē)載供氫系統(tǒng)檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
應(yīng)用于氫燃料電池車(chē)的車(chē)載供氫系統(tǒng)檢漏, 氫氣儲(chǔ)存于高壓氣瓶中, 單個(gè)氣瓶泄漏出的氫氣濃度必須小于 6 ppm

電廠檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
對(duì)電廠管道, 汽輪機(jī), 冷凝器等進(jìn)行檢漏, 吸槍模式下, 漏率值要求 10-6 mbar

 

3. 真空累積測(cè)漏(Integral Vacuum Test)
   1)精度極高
   2)測(cè)整體泄露量
   3)易于在線檢測(cè)
   4)重復(fù)性高
氦質(zhì)譜檢漏儀

 


氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
采用真空模式檢漏, 消防器材鋼瓶?jī)?nèi)部沖有一定壓力的氮氦混合氣體, 氦氣約占 5%的量

 

 

 

4. 背壓法(Vacuum Test: Bombing Test
    
1)密封器件的指定檢測(cè)方法
    2)高重復(fù)性  
氦質(zhì)譜檢漏儀

 


氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
應(yīng)用于光通訊設(shè)備的封裝激光芯片檢漏, 激光芯片在 Box 內(nèi)進(jìn)行封裝, 封裝完成后的激光芯片漏率要求小于 5×10-8mbar l/s

 

 

 

5. 真空累積法(Integral test of enclosed parts under vacuum
   1)易于自動(dòng)化檢測(cè)
   2)精度極高
   3)高重復(fù)性
氦質(zhì)譜檢漏儀

 



 

 

 

6. 常壓吸槍累積法(Sniffing test: Integral test at atmospheric pressure
    1)易于在線檢測(cè)
    2)無(wú)需抽真空
    常壓吸槍累積法廣泛應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域
氦質(zhì)譜檢漏儀



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氦質(zhì)譜檢漏儀

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