廣州捷恩機(jī)電科技有限公司,主要經(jīng)營(yíng)進(jìn)口真空泵及原裝和OEM件的真空泵配件及真空泵油,品牌為:德國(guó)BECKER貝克、德國(guó)BUSCH普旭(博世)、德國(guó)LEYBOLD萊寶(來(lái)寶)、德國(guó)RIETSCHLE偉力(里其樂(lè)),英國(guó)愛(ài)德華、法國(guó)ALCATEL阿爾卡特、日本ORION好利旺、日本ULVAV愛(ài)發(fā)科、意大利DVP等的真空泵油及配件
(2) 采用液力聯(lián)軸器
德國(guó)BECKER貝克采用液力聯(lián)軸器也能防止泵的過(guò)載現(xiàn)象發(fā)生,使德國(guó)BECKER貝克泵可以在高壓差下工作。液力聯(lián)軸器安裝在泵和電動(dòng)機(jī)之間。在正常工作狀態(tài)下,液力聯(lián)軸器由電動(dòng)機(jī)端向泵傳遞額定力矩。羅茨真空泵的最1大壓差由液力聯(lián)軸器所傳遞的最1大轉(zhuǎn)矩來(lái)決定,而液力聯(lián)軸器可傳遞的最1大轉(zhuǎn)矩由其中的液體量來(lái)調(diào)節(jié)。當(dāng)?shù)聡?guó)BECKER貝克泵在高壓差下工作或與前級(jí)泵同時(shí)啟動(dòng)時(shí),在液體聯(lián)軸器內(nèi)部產(chǎn)生了轉(zhuǎn)速差即滑動(dòng),只傳遞一定的力矩,使泵減速工作。隨著抽的進(jìn)1,體負(fù)荷減小,羅茨真空泵逐漸加速至額定轉(zhuǎn)速。
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Edwa是一家全球領(lǐng)1先的真空設(shè)備、尾氣管理系統(tǒng)和相關(guān)增值服務(wù)的開(kāi)發(fā)商和制造商。其產(chǎn)品和服務(wù)在半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池的制造流程中不可或缺;被應(yīng)用于日益多樣化的工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程,包括電力、玻璃和其他鍍膜應(yīng)用、鋼鐵和其他冶金工業(yè)、制藥和化學(xué)工業(yè),并用于科學(xué)儀器和多種研發(fā)應(yīng)用。 Edwa在全球擁有4,000多名雇員,從事于高科技真空和尾氣管理設(shè)備的設(shè)計(jì)、制造和支持。Edw在歐洲、亞洲和北美擁有11流的生產(chǎn)設(shè)施。
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對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō),雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來(lái)防止返流,但不能徹底解決問(wèn)題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。
干泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝。在這些工藝中,不希望微?;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛?,用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;4)化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,防止有溶1劑造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。